近场光学显微镜 的主要目标是获得与物体表面相距小于波长K的近场信息， 即隐失场的探测。虽然已经出现了许多不同类型的近场光学显微仪器， 但它们有一些共同的结构。如同其他扫描探针显微镜( STM、AFM…)， 近场光学显微镜包括： ( 1)探针，(2) 信号采集及处理，(3)探针-样品间距 z-的反馈控制，(4) x-y 扫描及(5) 图像处理。这里(4)(5)是已经成熟的扫描探针显微技术。采用计算机控制电子线路，微区的扫描一般由压电技术来实现，控制精度可以优于0. 01nm，丰富的图形处理方法可以将数字图像做平滑、滤波、衬度、亮度处理， 傅里叶变换滤波等。而(1), (2), (3)则与其他技术有区别。

(1) 探针：与 STM 中的金属探针和 AFM 的悬臂探针不同的是, 这里一般采用介电材料探针，可以发射或接受光子，尖端尺度在10～100nm，以能够将收集到的光子传送到探测器， 探针可用拉细的锥形光纤， 四方玻璃尖端，石英晶体等制成，探针的核心问题是小尺度和高的光通过率。

(2) 信息探测：由于光子信息均来自于纳米尺度区域，信号强度一般很低( ～nw/ cm2), 因而需经光电倍增管、光二极管、光子计数或电荷耦合器件(CCD)将光信号转换为电信号而放大。同时利用调制-锁相放大技术抑制噪声。以提高信噪比。

(3) 探针-样品间距控制: 理想的调控方法应当是与光信号的探测完全独立的机制，以使待测信号不受到干扰，避免引入复杂性。而实际方案中则难于避免这一问题，目前常用的方法有：i)隐失场调控：利用隐失场强度随 z-增加而指数下降关系，将探针放入隐失场里，控制范围0～K/ ( 30～40)，这种方法中，探测光信号与调控信号有较强相互影响。ii) 切变力调控：当以本征频率振荡的探针靠近样品表面时( < 50 nm)，由于振荡的针尖与样品间作用力( Van derWaals，毛细力，表面张力等)，其振荡幅度及相位均会有较大变化，利用这个变化可以将探针控制在 z= 5～20 nm 范围，比较成熟的方案有切变力调控方式，双束干涉[，共振音叉和超声共振方式等。

与 STM 中的电子隧道效应相比，光的传播特性使近场光学显微镜有新的特点；首先光子很容易向远处传播，因此易与观察物以外的物体或缺陷发生反射、衍射，这些相互作用将使所观察场的真实情况改变。因此，要找到一种完全独立的探针-样品间距控制方法；其次，如前面所述。在近场区域， 传播分量与非传播分量是共存的， 因而实际强度与 z -的关系并不是理想的指数衰减形式。在许多文献中描述的完美的指数衰减仅能出现在理想平面中, 而实际上这些实验分布已经被传播场所调制。