电子探针是利用 0.5μm－1μm 的高能电子束激发待分析的样品，通过电子与样品的相 互作用产生的特征 X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析样 品的微区内(μm 范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针是几个μm 范围内的 微区分析， 微区分析是它的一个重要特点之一, 它能将微区化学成份与显微结构对应起来， 是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 X 光荧光分析及光谱分析等，是分析样品较大 范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应, 不能对材料显微结构与材料性能关系进 行研究。