现在电子探针均与计算机联机，可以连续自动进行多种方法分析，并自动进行数据处理 和数据分析，对含 10 个元素以下的样品定性、定量分析，新型电子探针在 30min 左右可以 完成，如果用 EDS 进行定性、定量分析，几 min 即可完成。对表面不平的大样品进行元素 面分析时，现在可以自动聚焦分析。 电子探针一般不损坏样品，样品分析后，可以完好保存或继续进行其它方面的分析测试， 这对于文物、古陶瓷、古硬币及犯罪证据等的稀有样品分析尤为重要。