世界上台电子显微镜在1931年诞生于柏林，它是由M. Knoil和E. Rusk通过改装一台可拆卸的高速阴**线管示波器而制成的，具有3个透镜，是采用冷阴极电子源的透射式电子显微镜。1934年，M. Knoil和E. Rusk将分辨率提高到500Å。 

　　扫描电子显微镜原理 

　　扫描电镜 (Scanning ElectronMicroscope ),简写为 SEM,是一个复杂的系统；浓缩了电子光学技术真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束。在试样表面进行扫描,激发出各种信息，通过对这些信息的接收、放大和显示成像，以便对试样表面进行分析。入射电子与试样相互作用产生如图 1所示的信息种类。这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变 (这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等) ，是将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图。如果将探测器接收到的信号进行数字化处理转变成数字信号，就可以由计算机做进一步的处理和存储。扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察，因而在设计上突出了景深效果，一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。 

　　电子显微镜与金相显微镜 

　　一、光源不同：金相显微镜采用可见光作为光源，扫描电镜采用电子束作为光源成像。 

　　二、原理不同：金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像，扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。 

　　三、分辨率不同：金相显微镜因为光的干涉与衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源，其分辨率可达到1-3nm之间，因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析，扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。 

　　四、景深不同：一般金相显微镜的景深在2-3um之间，因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求，所以其的制样过程相对比较复杂。而扫描电镜则有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。