微分干涉显微镜的观察方法,具体表现以下几点:明场:物镜镜头和光源采用了防眩光设计,以确保生成明亮以及高对比度的图像.暗场:暗场照明器中使用的*的”蝇眼镜头”能够提供较之先前的型号高三倍的亮度.它允许以更高的敏感度检测标本中的暗角和高度偏差.简单偏光:除了简单偏光外,还可以将一个λ波片插入光路以实现一级红补偿器观察.进行液晶检查时, 微分干涉显微镜简单偏光很有用（当与LV-UEPI 2组合使用时）.落射荧光:可以选择UV,V,BV,B或者G激发荧光滤光块.此方法在观察OLED,离子移动以及电路基板用途时非常有效.透射照明:透射照明用来观察光学部件,FPD以其他透射光线的标本.诺玛斯基微分干涉显微镜相衬（DIC）:可以选择标准或者高对比度DIC插片以满足标本的需求.在观察多种设备和精密模具的表面时,此方法很有用.双光束干涉测量设备（测量纳米级的高度偏差）:可以执行Michelson（TI）以及Mirau（DI）类型的落射双光束干涉测量.可以使用测微计目镜,以便在不与标本直接接触的情况下进行观察和测量.