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扫描探针显微镜(SPM)粗调定位装置的要求
2018-04-08 | 来源:
粗调定位装置的要求:1、能把Tip从毫米距离逼近到距离样品5nm范围而不会撞针。2、粗调进针装置应有大的运动范围和小到5nm的步进精度。
粗调定位装置的要求:
1、能把Tip从毫米距离逼近到距离样品5nm范围而不会撞针。
2、粗调进针装置应有大的运动范围和小到5nm的步进精度。
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